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我国首台国产商业场发射透射电镜诞生

科技日报记者  叶青

1月20日,国首首台国产商业场发射透射电子显微镜TH-F120在广州市黄埔区正式发布。台国透射该透射电镜由生物岛实验室(以下简称实验室)领衔研制,产商拥有自主知识产权,业场将打破国内透射电镜100%依赖进口的发射局面,标志着我国已掌握透射电镜用的电镜诞生电子枪等核心技术,并具备量产透射电镜整机产品的国首能力。

透射电镜具有极高的台国透射行业垄断性与技术门槛,国外等知名世界品牌企业占据着全球透射电镜市场的产商主要份额。此前,业场我国透射电镜100%依赖进口,发射国产化尚属空白。电镜诞生2022年,国首我国进口透射电镜约300台,台国透射进口总额超30亿元,产商预计2022年至2028年期间,年复合增长率超5.8%。

2016年,中国科学院院士、生物岛实验室主任徐涛,生物岛实验室孙飞研究员联合中国科学院生物物理所启动透射电镜的有关研究。2020年,生物岛实验室组建起一支体系完整的透射电镜研制工程技术团队。团队成立三年多以来,相关研发工作接连取得重大突破,同时,为了进一步推动透射电镜的产业化,生物岛实验室采用边研发边转化的创新机制,与国仪量子联合成立了广州慧炬科技有限公司,推动透射电镜技术商业化应用。

慧炬TH-F120产品外观图。受访单位供图

此次推出的首款透射电镜新品TH-F120, 拥有自主研制的高亮度场发射电子枪,相比于同级进口产品的热发射电子枪,亮度更高,发射稳定性和相干性更优,匹配自主研制的电磁透镜系统,针对120kV成像平台特别优化电子光学设计,可为用户带来更佳的图像衬度和分辨率。自主研制的高稳定性低纹波高压电源,实现了高压自动控制,保证电子枪稳定发射。同时,标配自主研制的高像素CMOS相机,在低电子剂量的工况下仍可呈现丰富的样品细节。

该透射电镜将为我国在材料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业领域的高质量发展提供有力支撑。

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